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独立的自动化模块往往需要满足特殊的工艺要求,如超高精度、超洁净环境、极端温度等,常规设计方法难以满足。
1、先进行工艺测试:独立的自动化模块进行小规模实验,验证关键工艺,获得实际参数,然后进行设备设计。
2、特殊材料的选用:根据工况条件选择耐高温、耐腐蚀等特殊材料,必要时对材料进行改性。
3、误差分配与补偿:采用误差溯源分析,合理分配各环节公差,设计在线补偿系统。
4、环境隔离设计:对于洁净度、温度、湿度有特殊要求的自动化控制模块,应设计独立的环境控制系统。
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